高性能油真空ポンプを使用したスパッタリング装置（RH0020）

基礎情報

製品説明

製品説明

一般的な回転真空ポンプは、ハウジング、ローター、および一連の半径方向に移動可能なベーンで構成されており、乾式バージョンまたは潤滑バージョンが利用可能です (後者は、ほとんどの産業用途で最も一般的に使用されています)。 ローターは通常、ベーン真空ポンプの唯一の連続的に動く部品です。 ハウジング内部には作動室もあり、ローターとブレードによって 2 つの別々のコンパートメントに分割されています。 多くのベーン真空ポンプには、安全機能として入口バルブも付いています。

ロータリーベーン真空ポンプには、1 段バージョンと 2 段バージョンがあります。 レベルは、実際に圧縮が発生する周波数を指します。 2 段ポンプは、ガスが高圧段階でのみ導入されるため、1 段ポンプよりも低い圧力を達成することもできます。 ロータリーベーン真空ポンプは、一般および化学実験室、分析、凍結乾燥、プロセスエンジニアリングなど、さまざまな低真空および中真空の用途に最適です。 ロータリーベーンポンプは容積式で動作します。 大量の空気またはガスが閉じた空間に閉じ込められ、その空間が機械的に縮小されると圧縮されます。

製品パラメータ

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